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簡介傳感器的各種不同的分類


 

按照其用途,傳感器可分類為:

  壓力敏和力敏傳感器 位置傳感器

  液面傳感器 能耗傳感器

  速度傳感器 熱敏傳感器

  加速度傳感器 射線輻射傳感器

  振動傳感器 濕敏傳感器

  磁敏傳感器 氣敏傳感器

  真空度傳感器 生物傳感器等。

  以其輸出信號為標準可將傳感器分為:

  模擬傳感器--將被測量的非電學量轉換成模擬電信號。

  數字傳感器--將被測量的非電學量轉換成數字輸出信號(包括直接和間接轉換)。

  膺數字傳感器--將被測量的信號量轉換成頻率信號或短周期信號的輸出(包括直接或間接轉換)。

  開關傳感器--當一個被測量的信號達到某個特定的閾值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信號。

  在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發可將傳感器分成下列幾類:

  (1)按照其所用材料的類別分

  金屬
聚合物
陶瓷
混合物

  (2)按材料的物理性質分  導體, 絕緣體, 半導體, 磁性材料

  (3)按材料的晶體結構分

  單晶,多晶,非晶材料

  與采用新材料緊密相關的傳感器開發工作,可以歸納為下述三個方向:

  (1)在已知的材料中探索新的現象、效應和反應,然后使它們能在傳感器技術中得到實際使用。

  (2)探索新的材料,應用那些已知的現象、效應和反應來改進傳感器技術。

  (3)在研究新型材料的基礎上探索新現象、新效應和反應,并在傳感器技術中加以具體實施。

  現代傳感器制造業的進展取決于用于傳感器技術的新材料和敏感元件的開發強度。傳感器開發的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯的。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術的、能夠轉換能量形式的材料。

  按照其制造工藝,可以將傳感器區分為:

  集成傳感器,薄膜傳感器,厚膜傳感器,陶瓷傳感器

  集成傳感器是用標準的生產硅基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。

  薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基板)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上。

  厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進行熱處理,使厚膜成形。

  陶瓷傳感器采用標準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產。

  完成適當的預備性操作之后,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。

  每種工藝技術都有自已的優點和不足。由于研究、開發和生產所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。

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